测试装置、诊断程序以及诊断方法

摘要

一种测试装置，使定出可在各测试模组的诊断中使用的诊断用性能板的设定信息，在少于以前的作业负担下变更。本发明的测试装置于诊断对象的每种测试模组中，记忆对该种类诊断对象测试模组的诊断进行控制的对象诊断程序，且将为了利用各对象诊断程序对诊断对象测试模组进行诊断而应搭载于上述测试头上的诊断用性能板的识别信息组，存储于每种诊断对象测试模组中。将诊断用性能板搭载于测试头上时，获取该诊断用性能板的识别信息，并以该识别信息与附上对应于所指定的诊断对象测试模组种类而记忆的识别信息相一致为条件，执行对应于该种类的对象诊断程序。

主权项

1.一种测试装置，对一被测试元件进行测试，包括：多个测试模组，将测试讯号供给至上述被测试元件，并根据所供给的上述测试讯号，输入上述被测试元件所输出的输出讯号；一测试头，搭载测试用性能板，该性能板上载置有上述被测试元件，且连接所载置的上述被测试元件与上述多个测试模组；以及一控制装置，对上述多个测试模组进行控制，其中上述控制装置包括：一诊断程序记忆部，记忆一对象诊断程序，该对象诊断程序对成为诊断对象的测试模组的每种诊断对象测试模组，利用上述控制装置，使之对该种类诊断对象测试模组的诊断进行控制；一档案储存部，储存着互换信息档案，该互换信息档案是取代掉前述测试用性能板而改以将欲搭载于前述测试头的具有互换性的至少一个诊断用性能板的识别信息，记录于每种诊断对象测试模组中，以利用各对象诊断程序对上述诊断象测试模组进行诊断；一识别信息获取部，在将上述诊断用性能板搭载于上述测试头上时，获取所搭载的上述诊断用性能板的识别信息；以及一对象诊断程序执行部，将附上对应于所指定的上述诊断对象测试模组的种类而记录于上述互换信息档案的识别信息中的至少一个，与上述识别信息获取部所获取的识别信息相一致为条件，执行对应于该种类的上述对象诊断程序。