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发明名称 METHOD FOR RESIST STRIP IN PRESENCE OF REGULAR LOW K AND/OR POROUS LOW K DIELECTRIC MATERIALS
摘要
申请公布号 EP1880414(A4) 申请公布日期 2008.07.16
申请号 EP20060752442 申请日期 2006.05.08
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 ZHU, HELEN;SADJADI, REZA
分类号 H01L21/02;G03F7/42;H01L21/311 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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