METHOD FOR PRODUCING FACET MIRRORS AND PROJECTION EXPOSURE APPARATUS,申请号EP20080707756-传众专利搜索

发明名称	METHOD FOR PRODUCING FACET MIRRORS AND PROJECTION EXPOSURE APPARATUS
摘要	<p>The disclosure relates to methods for producing mirrors, in particular facet mirrors, and projection exposure apparatuses equipped with the mirrors.</p>
申请公布号	EP2122393(A2)	申请公布日期	2009.11.25
申请号	EP20080707756	申请日期	2008.02.18
申请人	CARL ZEISS SMT AG	发明人	WARM, BERNDT;RENNON, SIGFRIED;DINGER, UDO;BAIER, JUERGEN;BURKART, STEFAN;KOUROUKLIS, CHRISTOS;CHUNG, HIN YIU ANTHONY;WIESNER, STEFAN;ENKISCH, HARTMUT;DENGEL, GUENTHER
分类号	G02B5/09;G02B7/18;G03F7/20	主分类号	G02B5/09
代理机构		代理人
主权项
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