| 发明名称 |
COMPUTER CONTROLLED DEVICE FOR PROCESSING SEMICONDUCTOR WAFER AND METHOD THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5710238(A) |
申请公布日期 |
1982.01.19 |
| 申请号 |
JP19810075615 |
申请日期 |
1981.05.19 |
| 申请人 |
BURANSON INTERN PURAZUMA CORP |
发明人 |
JIYON TEI DEIBUISU;RICHIYAADO EFU RAIKARUDAAFUAA |
| 分类号 |
H01L21/302;B65G49/07;C23C16/50;C23F1/08;C30B33/00;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/67 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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