发明名称 | 一种化学气相沉积设备专用挡板装置 | ||
摘要 | 本发明公开了一种化学气相沉积设备专用挡板装置,包括真空转接法兰、挡板、挡板连接杆、支撑杆和手柄,真空转接法兰设置于沉积腔体的壳体上,支撑杆通过固定杆与沉积腔体连接,挡板设置于沉积腔体内,挡板与挡板连接杆一端连接,挡板连接杆的另一端横向依次穿过真空转接法兰和支架,与手柄连接,挡板连接杆通过轴承与支撑杆连接,通过前后移动手柄进而通过挡板连接杆带动挡板移动,挡板连接杆上还设有止动装置,当通过手柄带动挡板移动到合适位置时,通过止动装置对挡板连接杆止动固定。阻止沉积腔体内的源溶液蒸汽在基板上沉积,确保化学气相沉积的沉积时间为一可控的定值,减小实验误差,提高薄膜质量,该装置结构简单,操作方便,提高了工作效率。 | ||
申请公布号 | CN105862011A | 申请公布日期 | 2016.08.17 |
申请号 | CN201610416355.8 | 申请日期 | 2016.06.14 |
申请人 | 武汉工程大学 | 发明人 | 赵培;苏轼;王莹 |
分类号 | C23C16/44(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/44(2006.01)I |
代理机构 | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人 | 崔友明 |
主权项 | 一种化学气相沉积设备专用挡板装置,其特征在于,包括真空转接法兰、挡板、挡板连接杆、支撑杆和手柄,真空转接法兰设置于沉积腔体的壳体上,隔绝沉积腔体外的空气,使沉积腔体保持真空环境,支撑杆底部设有固定杆,固定杆与沉积腔体连接固定,挡板设置于沉积腔体内,挡板与挡板连接杆一端连接,挡板连接杆的另一端横向依次穿过真空转接法兰和支架,与手柄连接,挡板连接杆通过轴承与支撑杆连接,通过前后移动手柄进而通过挡板连接杆带动挡板移动,挡板连接杆上还设有止动装置,当通过手柄带动挡板移动到合适位置时,通过止动装置对挡板连接杆止动固定,防止挡板移动和转动。 | ||
地址 | 430074 湖北省武汉市洪山区雄楚大街693号 |