感光晶体管、其制造方法以及使用感光晶体管的显示面板

摘要

本发明提供了感光晶体管、使用感光晶体管的显示面板、及感光晶体管的制造方法。感光晶体管包括：栅极层；栅绝缘层，在栅极层上；沟道层，在栅绝缘层上；蚀刻停止层，在沟道层的部分区域上；源极和漏极，在沟道层上并彼此分离开，其中蚀刻停止层插置在源极和漏极之间；以及钝化层，覆盖源极、漏极和蚀刻停止层，其中源极与蚀刻停止层分离开。

主权项

一种感光晶体管，包括∶栅极层；栅绝缘层，在所述栅极层上；沟道层，在所述栅绝缘层上；蚀刻停止层，在所述沟道层的部分区域上；源极和漏极，在所述沟道层上并彼此分离开，其中所述蚀刻停止层插置在所述源极和所述漏极之间；以及钝化层，覆盖所述源极、所述漏极和所述蚀刻停止层，其中所述源极与所述蚀刻停止层分离开，其中所述沟道层的相应于所述源极与所述蚀刻停止层之间的空间的区域具有比沟道层的任何其他区域高的电导率。