喷液头、喷液装置和喷液方法

摘要

本发明涉及一种喷液头，其特征为，具备：喷嘴：喷出液体；和扁平喷嘴板：其上设置有上述喷嘴；和腔：贮藏从上述喷嘴的喷出孔所喷出的液体；和压力产生部：对上述喷嘴内的液体产生压力，而在上述喷嘴的喷出孔上形成液体的弯液面；和静电电压施加部：在上述喷嘴及上述腔内的液体与基材间，施加静电电压，而产生静电引力；和工作控制部：控制上述静电电压施加部所为的上述静电电压的施加、以及驱动上述压力产生部的驱动电压的施加；并且，上述喷嘴板的体积电阻率在10¹⁵Ωm以上。

主权项

1.喷液头，其特征为，具备：喷嘴：喷出液体；扁平喷嘴板：设置有上述喷嘴；腔：贮藏从上述喷嘴的喷出孔所喷出的液体；压力产生部：对上述喷嘴内的液体产生压力，在上述喷嘴的喷出孔上形成液体的弯液面；静电电压施加部：在上述喷嘴及上述腔内的液体与基材之间，施加静电电压，而产生静电引力；和工作控制部：控制上述静电电压施加部所为的上述静电电压的施加、以及控制驱动上述压力产生部的驱动电压的施加；并且，上述喷嘴板的体积电阻率在1015Ωm以上。