| 摘要 |
1. Способ измерения оптических свойств дифракционной линзы, содержащий этапы, на которых ! пропускают свет через дифракционную линзу и на массив элементарных линз, в котором каждая элементарная линза принимает часть света и в котором дифракционная линза имеет границу зоны, покрывающую, по меньшей мере, часть одной элементарной линзы, ! измеряют одно или несколько свойств дифракционной линзы на основании света, в общем случае, сфокусированного массивом элементарных линз и зарегистрированного датчиком, ! регулируют результат измерения для компенсации предполагаемых оптических свойств дифракционного компонента линзы в измерительной системе. ! 2. Способ по п.1, в котором влияние дифракционной структуры вычисляют с использованием преобразования Фурье волнового фронта через каждую элементарную линзу для фазовой задержки, вносимой дифракционной структурой. ! 3. Способ по п.1, дополнительно содержащий этап, на котором сравнивают позицию светового пятна, сфокусированного каждой элементарной линзой, с позицией пятна для полностью коллимированного волнового фронта, для определения поперечного перемещения пятна. ! 4. Способ по п.3, в котором влияние дифракционной структуры определяют путем сравнения измеренных значений для дифракционной линзы и эквивалентной однофокусной линзы для определения коррекции. ! 5. Способ по п.1, дополнительно содержащий этап, на котором ! идентифицируют размытые или двойные пятна, в котором наличие размытого или двойного пятна свидетельствует о наличии дифракционного участка поверхности линзы, и ! регулируют локальный наклон для элементарной линзы для представления эквивалентной однофок� |
