| 发明名称 | 一种常压等离子带钢镀膜工艺 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种常压等离子带钢镀膜工艺，基板卷开卷后进入常压等离子镀膜单元；采用两个电极，其中高压电极位于钢板的上方，用阻挡层覆盖；运行的基板位于高压电极下方，基板接地或位于接地电极的上方，通过绝缘物质阻隔；通过通入有机前驱体及其载气，气体流量大于0.01sccm以及反应性气体，流量大于1sccm，在两个电极间加上交流电或直流电，频率在200Hz－20KHz之间；介电层或者绝缘层阻挡了电流，产生介电放电；介质阻挡放电产生等离子，钢板在通过等离子区域时，进行镀膜。整个工艺过程环保，可以实现多种镀膜产品；与带钢真空镀膜相比，工艺过程简单，投资低。 | ||
| 申请公布号 | CN101376968A | 申请公布日期 | 2009.03.04 |
| 申请号 | CN200710045285.0 | 申请日期 | 2007.08.27 |
| 申请人 | 宝山钢铁股份有限公司 | 发明人 | 杨立红;傅建钦;张健;杨晓萍 |
| 分类号 | C23C16/50(2006.01);C23C16/52(2006.01);H05H1/24(2006.01) | 主分类号 | C23C16/50(2006.01) |
| 代理机构 | 上海开祺知识产权代理有限公司 | 代理人 | 竺明 |
| 主权项 | 1.一种常压等离子带钢镀膜工艺，基板卷开卷后进入常压等离子镀膜单元；采用两个电极，其中高压电极位于钢板的上方，用阻挡层覆盖；运行的基板位于高压电极下方，基板接地或位于接地电极的上方，通过绝缘物质阻隔；通过载气通入有机前驱体，气体流量大于0.01sccm；以及反应性气体，流量大于1sccm；在两个电极间加上交流电或直流电，频率在200Hz-20KHz之间；介电层或者绝缘层阻挡了电流，产生介电放电；介质阻挡放电产生等离子，基板在通过等离子区域时，进行镀膜，基板运行速率在2～200米/分之间。 | ||
| 地址 | 201900上海市宝山区富锦路果园 | ||