一种真空离子镀膜用智能送气装置

摘要

一种真空离子镀膜用智能送气装置，包括混气室，所述混气室底端连接有若干进气装置，所述进气装置包括第一气瓶和第二气瓶，所述第一气瓶和第二气瓶均通过进气管与混气室相连通，所述第一气瓶与进气管的连接处设有第一电磁阀，第二气瓶与进气管的连接处设有第二电磁阀，第一电磁阀和第二电磁阀的内部均设置有压力传感器，第一电磁阀和第二电磁阀均电连接控制装置；所述混气室下部设有转轴，所述转轴上对称设有两个扇叶，所述扇叶上开设有若干小孔。本实用新型的有益效果是通过第一气瓶和第二气瓶的自动切换，保证了真空镀膜设备用气的稳定性，避免了由于气瓶内气体容量或气压过低而对镀膜质量带来的不利影响。

主权项

一种真空离子镀膜用智能送气装置，包括混气室，其特征在于，所述混气室底端连接有若干进气装置，所述进气装置包括第一气瓶和第二气瓶，所述第一气瓶和第二气瓶均通过进气管与混气室相连通，所述第一气瓶与进气管的连接处设有第一电磁阀，第二气瓶与进气管的连接处设有第二电磁阀，第一电磁阀和第二电磁阀的内部均设置有压力传感器，第一电磁阀和第二电磁阀均电连接控制装置；所述混气室下部设有转轴，所述转轴上对称设有两个扇叶，所述扇叶上开设有若干小孔；所述扇叶上方设有两块右挡板和两块左挡板，所述右挡板的右端与混气室固定连接，右挡板的左端与混气室的左侧壁之间留有气体通道，所述左挡板的左端与混气室固定连接，左挡板的右端与混气室的左侧壁之间留有气体通道，所述右挡板和左挡板交错设置；所述混气室的顶部设有出气口。