Method for aligning substrate and Apparatus of deposition

摘要

본 발명의 일 측면에 따르면, 진공챔버에서 증발물질을 가열하여 기판에 박막을 형성하는 증착장치에서 기판과 마스크를 얼라인하는 방법으로서, 마스크 얼라인 마크가 형성된 마스크를 일정 온도로 미리 가열하는 단계; 상기 진공챔버에 기판 얼라인 마크가 형성된 기판을 로딩하는 단계; 상기 마스크 얼라인 마크와 상기 기판 얼라인 마크가 일치되도록 상기 기판과 상기 마스크를 얼라인하는 단계를 포함하는, 기판 얼라인 방법이 제공된다.