テラヘルツ光源のチップ、光源デバイス、光源ユニット及びその製造方法

摘要

本発明は、テラヘルツ光源のチップ、光源デバイス、光源ユニット及びその製造方法を提供する。光源のチップは、２次元電子ガスメサと、２次元電子ガスメサに形成され、プラズマ波を励起するための電極と、２次元電子ガスメサの下方に形成され、底面に全反射鏡が設置されているテラヘルツ波キャビティと、２次元電子ガスメサに形成され、プラズマ波モードとテラヘルツ波キャビティモードとを結合させることで、テラヘルツ波放射を発生させるためのグレーチングと、を含む。本発明は、テラヘルツ波キャビティモードとグレーチングにおいての２次元電子ガスの中のプラズマ波モードとの密結合によって、プラズモンポラリトンを発生させ、プラズモンポラリトンの電子工学励起によってテラヘルツ波放射を発生させることができ、単独の電子の高周波数発振または単独の電子の量子跳躍によってテラヘルツ波放射を発生させる場合に存在する周波数が低く、または作業温度が低いという問題を解決し、放射周波数の範囲及び作業温度の範囲を広げた。【選択図】図１