发明名称 |
探针卡 |
摘要 |
本发明公开了一种探针卡,其包括探针、电路板和连接装置;其中,所述电路板的设有窗口和测试电路,所述测试电路包括包含电阻的第一电路通道以及不含电阻的第二电路通道;所述连接装置设于所述电路板窗口处,所述探针的一段固定连接于所述连接装置上;所述连接装置相对于电路板旋转或移动,以使所述连接装置与所述测试电路中的第一电路通道或所述第二电路通道接触连接。本发明所述的探针卡能同时兼容无电阻和有电阻的信号通道,从而可以满足不同测试类别中对于电路电阻的需求,节省生产成本和简化操作。 |
申请公布号 |
CN103926433B |
申请公布日期 |
2016.06.08 |
申请号 |
CN201410106479.7 |
申请日期 |
2014.03.20 |
申请人 |
上海华力微电子有限公司 |
发明人 |
王炯;周柯;吴奇伟 |
分类号 |
G01R1/073(2006.01)I |
主分类号 |
G01R1/073(2006.01)I |
代理机构 |
上海申新律师事务所 31272 |
代理人 |
吴俊 |
主权项 |
一种探针卡,其特征在于,包括探针、电路板和连接装置;其中,所述电路板的中央设有窗口和测试电路,所述测试电路包括一包含电阻的第一电路通道和不含电阻的第二电路通道;所述连接装置设于所述电路板窗口处,所述连接装置包括内侧和外侧,所述探针的一端固定连接于所述连接装置的内侧上;所述连接装置相对于电路板旋转或移动,以使所述连接装置与所述测试电路中的第一电路通道或所述第二电路通道接触连接;还包括固定装置,所述固定装置为若干个设置于所述探针卡上的固定孔,且每个所述固定孔到所述探针卡的几何中心的点的距离相等。 |
地址 |
201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号 |