vaporizer

摘要

본 발명의 일 실시예에 따르면, 바디; 바디로 캐리어 가스를 주입받기 위한 캐리어 가스 주입부; 바디로 액체 케미칼을 주입받기 위한 액체 케미칼 주입부; 적어도 하나의 통형상 구조체; 및 바디에 형성되며, 적어도 하나의 통형상 구조체가 위치되는 공간; 을 포함하며, 적어도 하나의 통형상 구조체의 표면은 거칠기 처리가 되어 있는 것을 특징으로 하는 기화기가 개시된다.