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经营范围
发明名称
ADJUSTABLE CONDUCTANCE LIMITING APERTURE FOR ION IMPLANTERS
摘要
申请公布号
EP1352411(B1)
申请公布日期
2005.03.23
申请号
EP20020707495
申请日期
2002.01.16
申请人
VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES INC.
发明人
RENAU, ANTHONY;HERMANSON, ERIC, DAVID;SCHEUER, JAY, THOMAS
分类号
G01Q30/08;H01J37/16;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/18
主分类号
G01Q30/08
代理机构
代理人
主权项
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