发明名称 ADJUSTABLE CONDUCTANCE LIMITING APERTURE FOR ION IMPLANTERS
摘要
申请公布号 EP1352411(B1) 申请公布日期 2005.03.23
申请号 EP20020707495 申请日期 2002.01.16
申请人 VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES INC. 发明人 RENAU, ANTHONY;HERMANSON, ERIC, DAVID;SCHEUER, JAY, THOMAS
分类号 G01Q30/08;H01J37/16;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/18 主分类号 G01Q30/08
代理机构 代理人
主权项
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