摘要 |
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Beschichtungsanordnung (100, 300b, 600a) zum Beschichten eines Werkstücks in einem Beschichtungsbereich (113) Folgendes aufweisen: eine Materialdampfquelle (102) zum Erzeugen eines Stroms an Materialdampf in Richtung des Beschichtungsbereichs (113); eine Dampfseparationsplatte (106), welche zwischen der Materialdampfquelle (102) und dem Beschichtungsbereich (113) angeordnet ist; wobei die Dampfseparationsplatte (106) entlang einer Durchlassrichtung von einer Vielzahl Öffnungen durchdrungen ist, von denen zumindest mehrere Öffnungen (106o) eine Ausdehnung aufweisen können, die kleiner als eine Dicke der Dampfseparationsplatte (106) entlang der Durchlassrichtung ist, so dass die mehreren Öffnungen (106o) länglich geformt sind zum Abtrennen von Streudampf aus dem Strom an Materialdampf. |