| 摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Reinigen von beispielsweise Turbinenschaufeln (15) in einer Reinigungskammer (14), in die ein insbesondere fluorionenhaltiges Prozessgas (17) eingeleitet wird. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass zur Kontrolle des Prozesses, insbesondere zur Ermittlung der Abbruchsbedingung für den Prozess, kontaminiertes Prozessgas in eine Analysekammer (23) geleitet wird, wo ein Plasma (25) gezündet und emissionsspektroskopisch untersucht wird. In einer Auswertungseinrichtung (28) kann die spektrometrische Messung ausgewertet werden, wobei bei einer charakteristischen Änderung des Spektrums (30) über eine Signalleitung (32) der Reinigungsprozess gestoppt wird. Weiterhin unter Schutz gestellt ist eine Reinigungsvorrichtung (11), welche eine Analysevorrichtung (12) mit Probenkammer (23) und Plasmagenerator (24) aufweist, wobei eine Schnittstelle (26) für die Auswertung des Analyseergebnisses vorgesehen ist.
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