| 摘要 |
<p>L'invention concerne un dispositif de régulation de la température qui comprend: une plaque de support soutenant un objet dont la température doit être régulée; des chambres d'éjection de fluide dont les surfaces des parois supérieures sont adjacentes à la face inférieure de la plaque de support; des buses d'éjection de fluide possédant plusieurs orifices d'éjection de fluide par lesquels un fluide est projeté contre la surface des parois supérieures internes des chambres d'éjection de fluide; un système d'amenée de fluide servant à fournir aux buses d'éjection un fluide dont la température est régulée de manière à correspondre à une valeur prédéterminée; et un système d'évacuation de fluide pour évacuer le fluide éjecté par les orifices d'éjection de fluide depuis les chambres d'éjection de fluide. Ce dispositif permet de réguler rapidement la température d'un objet tel qu'une plaquette pour la porter à une température désirée, avec une efficacité élevée d'échange thermique.</p> |
