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Eine Vorrichtung (1) zum optischen Inspizieren von Objekten (10) mit einer ersten Beleuchtungseinrichtung (2), welche das zu inspizierende Objekt (10) beleuchtet, mit einer Detektoreinrichtung (4), welche von der Beleuchtungseinrichtung (2) stammende von dem Objekt reflektierte und/oder gestreute Strahlung erfasst, wobei die Detektoreinrichtung (4) eine Bildaufnahmeeinrichtung (42) zur ortsaufgelösten Aufnahme von Bildern mit einer Vielzahl von Bildaufnahmeelementen (44) aufweist. Erfindungsgemäß ist die Bildaufnahmeeinrichtung (42) in wenigstens zwei unterschiedlichen Bildaufnahmemodi (B1, B2) betreibbar, wobei sich diese Bildaufnahmemodi (B1, B2) in wenigstens einem für die Bildaufnahme charakteristischen Parameter unterscheiden. |
