用于晶圆切割机之自动化加药机

主权项

一种用于晶圆切割机之自动化加药机，其包含： 一机台，其包含一控制单元、一药液容器及与该控制单元电连接之一泵浦，其中，该控制单元系可供一晶圆切割机电连接，该药液容器装有一药液，该泵浦具有一输入管路连通该药液容器、以及一输出管路连通该晶圆切割机，而该控制单元可接收该晶圆切割机之一供给指令及一停止指令，以分别控制该泵浦将该药液供给至该晶圆切割机、以及控制该泵浦停止动作；以及 一输出管路感测器，其电连接该控制单元，并设于该输出管路中，若该输出管路感测器感测异常，该控制单元可传送一警示讯号至该晶圆切割机，令该晶圆切割机之切割作业中止。