| 摘要 |
표면에칭을 이용한 3D 표면결함 검출장치 및 방법을 개시한다. 상기 표면에칭을 이용한 3D 표면결함 검출장치는 식각용액의 공급량을 가변시켜, 결함 시험편의 도금층이 복수 개의 식각층으로 분리되도록 에칭하는 식각처리부; 상기 복수 개의 식각층 각각의 2차원 표면영상 및 상기 결함 시험편에 생성된 표면결함을 깊이별로 촬영한 2차원 표면영상을 제공하는 2D 영상촬영부; 상기 2D 영상촬영부에서 촬영된 2차원 표면영상들을 역산처리한 후, 정합시켜 3차원 표면영상으로 제공하는 영상처리부; 및 상기 3차원 표면영상을 표시하는 표시부를 포함한다. |
