| 主权项 |
一种太赫兹波导测试系统，其特征在于，包括一罩体以及安装在罩体内按光路依序布设的飞秒脉冲激光器(1)，1/2波片(2)，偏振分束器(3)，分列的泵浦光路装置和探测光路装置，硅片(15)，太赫兹探测器(16)和数据采集单元(17)，还包括置于罩体外的数据处理计算机(18)，其中，探测光路装置中设有第三延迟台模块(11)，泵浦光路装置包含有太赫兹发射器(8)和波导测试单元(9)，波导测试单元(9)中设有第二延迟台模块(9‑4)，通过第三延迟台模块(11)和第二延迟台模块(9‑4)调整泵浦光路与探测光路光程相等；泵浦光路装置中包括依序置于泵浦光路中的第一平面镜反射镜(4)、第二平面反射镜(5)、第一延迟台模块(6)、第一石英平凸透镜(7)、太赫兹发射器(8)和波导测试单元(9)，被测波导置于波导测试单元中，泵浦光路装置接收偏振分束器(3)出射的泵浦光，将泵浦光转为太赫兹辐射波通过被测波导，并最终出射透过硅片(15)与探测光路的光汇合为汇聚光路L3聚焦到太赫兹探测器(16)上；所述波导测试单元(9)包括有太赫兹波导耦合器(9‑1)，两个太赫兹波导夹持器(9‑2、9‑3)，第二延迟台模块(9‑4)，第一镀银平面反射镜(9‑5)和第一镀金离轴抛面镜(9‑6)；太赫兹波导耦合器(9‑1)与太赫兹发射器(8)相连接，并设置在太赫兹发射器(8)的发射端面一侧，将太赫兹辐射波汇聚收集；被测波导由两个太赫兹波导夹持器(9‑2、9‑3)进行固定并与太赫兹波导耦合器(9‑1)出射端水平对位，第二延迟台模块(9‑4)位于被测波导的另一端；所述波导耦合器(9‑1)具有一个锥形输入端(911)、一个根据被测波导不同端面形状而改变的耦合输出端(912)，以及一个用于固定太赫兹发射器(8)的发射器固定架，所述输入端(911)为锥形通孔，大口径端朝向太赫兹发射器(8)，小口径端连接耦合输出端(912)，耦合输出端(912)朝向被测波导并与被测波导水平对位；所述耦合输出端(912)为一空心圆柱体、两块平行的平板或一空心矩形体，圆柱体直径或上下板间距小于被测波导的截面尺寸。 |
