ガス処理装置

摘要

【課題】従来技術の欠点を解消できる改善されたガス処理装置を提供することにある。【解決手段】ガススクラバチャンバを有し、該ガススクラバチャンバは、該ガススクラバチャンバ内でスクラビングすべき製造プロセスツールから由来する排ガス流を受入れて、スクラビングされたガス流を形成すべく作動でき、静電集塵チャンバを有し、該静電集塵チャンバは、該静電集塵チャンバ内で処理すべきスクラビングされたガス流を受入れるべく作動でき、ガススクラバチャンバおよび静電集塵チャンバの一方は第１チャンバを形成し、ガススクラバチャンバおよび静電集塵チャンバの他方は第２チャンバを形成し、第１チャンバは第２チャンバを包囲するように構成されているガス処理装置。【選択図】図１