| 发明名称 |
Gasphasenabscheidung von Siliziumoxidfilmen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60218924(D1) |
申请公布日期 |
2007.05.03 |
| 申请号 |
DE20026018924 |
申请日期 |
2002.02.07 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC. |
发明人 |
MUKAI, KEVIN M.;NEMANI, SRINIVAS |
| 分类号 |
C23C16/42;H01L21/316;C23C16/40;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/314;H01L21/76 |
主分类号 |
C23C16/42 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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