软烘焙基板上的光刻胶的装置和方法

摘要

本发明公开了一种用于软烘焙具有虚拟区域的基板的装置。该装置包括加热板、多根针和用于分别使多根针中选择的针上升，从而从加热板的上表面伸出的驱动单元。

主权项

1、一种软烘焙基板的装置，所述基板具有虚拟区域，所述装置包括：加热板；多个针；用于对加热板进行加热的加热单元；和用于分别使多个针中选择的针上升，从而从加热板的上表面伸出的驱动单元，其中所述驱动单元接收虚拟区域的布局信息以选择对应于基板上的虚拟区域的待上升的针，并且所述驱动单元包括控制器，该控制器接收虚拟区域的布局信息并且对电机进行控制以使选择的与基板上的虚拟区域对应的针上升，而且其中所述选择的针与虚拟区域接触以对基板进行支撑。