动态二维光电显微镜

摘要

一种动态二维光电显微镜，包括有用于照射被测二维线纹样板的照明光源，用于将被测二维线纹样板实像引入测量系统的光电显微镜物镜，设置在所述光电显微镜物镜的输出光路上，用于将该路光分为用于观察和用于测量的两路光的第一分光平片，设置在第一分光平片所分出的用于观察的光路上的成像CCD相机，所述成像CCD相机接收该路光用于在测量时对被测二维线纹样板进行观察与调整，设置在第一分光平片所分出的用于测量的光路上，并将该路光分成用于获取光电瞄准信号的测量方向为X轴的两路光和测量方向为Y轴的两路光的测量单元。本发明结构简单易于操作，能够实现二维线纹瞄准的测量功能，有较好的测量对象的适应性及测量精度。

主权项

一种动态二维光电显微镜，包括有用于照射被测二维线纹样板（2）的照明光源（1），其特征在于，还设置有：用于将被测二维线纹样板（2）实像引入动态二维光电显微镜的光电显微镜物镜（3），设置在所述光电显微镜物镜（3）的输出光路上，用于将该路光分为用于观察和用于测量的两路光的第一分光平片（4），设置在第一分光平片（4）所分出的用于观察的光路上的成像CCD相机（5），所述成像CCD相机（5）接收该路光用于在测量时对被测二维线纹样板（2）进行观察与调整，设置在第一分光平片（4）所分出的用于测量的光路上，并将该路光分成用于获取光电瞄准信号的测量方向为X轴的两路光和测量方向为Y轴的两路光的测量单元，光电显微镜物镜（3）用于将二维线纹刻线实像引入测量系统，该实像用于与测量系统中的可调谐狭缝进行比较形成相应的测量波形，所述的测量单元包括有设置在第一分光平片（4）所分出的用于测量的光路上的第二分光平片（6），设置在所述第二分光平片（6）分出的垂直光路上的第三分光平片（7）和设置在所述第二分光平片（6）分出的水平光路上的第一可调谐工作狭缝（9），设置在所述第三分光平片（7）分出的垂直光路上的分光棱镜（8）和设置在所述第三分光平片（7）分出的水平光路上的第二可调谐工作狭缝（11），设置在所述分光棱镜（8）分出的垂直光路上的第四可调谐工作狭缝（15）和设置在所述分光棱镜（8）分出的水平光路上的第三可调谐工作狭缝（13），其中，所述的第一可调谐工作狭缝（9）的输出连接第一光电接收器（10），所述的第二可调谐工作狭缝（11）的输出连接第二光电接收器（12），所述的第三可调谐工作狭缝（13）的输出连接第三光电接收器（14），所述的第四可调谐工作狭缝（15）的输出连接第四光电接收器（16），第一可调谐工作狭缝（9）与第三可调谐工作狭缝（13）相互匹配用于获取瞄准测量所需要的钟形波，第二可调谐工作狭缝（11）与第四可调谐工作狭缝（15）相互匹配用于获取瞄准测量所需要的鉴向信号，所述的第一可调谐工作狭缝（9）、第二可调谐工作狭缝（11）、第三可调谐工作狭缝（13）和第四可调谐工作狭缝（15）的空间位置的设置关系，要保证第一可调谐工作狭缝（9）获取的钟形波与第三可调谐工作狭缝（13）获取的钟形波相交的交点在两个钟形波的波峰值的50％～90％之间。