| 主权项 |
一种利用小孔衍射波面拼接测量面形的检测装置，其特征在于，该装置包括：激光器(1)、滤波孔(2)、第一聚光镜(3)、空间滤波器(4)、扩束镜(5)、λ/2波片(6)、λ/4波片(7)、衰减片(8)、分光镜(9)、反射镜(10)、移相器(11)、第一光学调整架(12)、第二聚光镜组(13)、小孔基板(14)、第二光学调整架(15)、第三光学调整架(16)、CCD探测器(17)和计算机(18)；激光器(1)，用于发出激光作为照明光源；滤波孔(2)，利用衍射效应用于将激光器(1)发出的光散射；第一聚光镜(3)，用于收集滤波孔(2)发出的散射光；空间滤波器(4)，用于将聚光镜(3)收集的光过滤掉杂散光；扩束镜(5)，用于将空间滤波器(4)过滤的点光源的光变为平行光；λ/2波片(6)，用于旋转经过扩束镜(5)形成的平行光的偏振方向；λ/4波片(7)，用于和λ/2波片(6)结合来调节产生圆偏振光；衰减片(8)，用于调整光强；分光镜(9)，用于光束传播方向控制，该分光镜(9)将经过衰减片(8)的光透射，将经过反射镜(10)反射的光反射；反射镜(10)，用于将光束反射，该反射镜(10)用来产生移相的效应；移相器(11)，和反射镜(10)相连，由计算机(18)控制移相器(11)的移动，产生移相；第一光学调整架(12)，与第二聚光镜组(13)，小孔基板(14)相连，能够控制第二聚光镜组(13)，小孔基板(14)进行移动和旋转，用于拼接测量；第二聚光镜组(13)，将分光镜(9)反射的光会聚到小孔基板(14)中的小孔上；小孔基板(14)，基板中打有小孔，用于产生衍射球面波，同时小孔基板除小孔外镀有反射膜，用于反射测试光；第二光学调整架(15)，上面放置待测镜，能够调节待测镜移动和倾斜；第三光学调整架(16)，上面放置第三聚光镜组，用于将干涉光投射到CCD探测器(17)上，形成并记录干涉图案；计算机(18)与CCD探测器(17)连接，计算机(18)存储并处理CCD探测器(17)记录干涉图案；能够用计算机控制第二光学调整架(15)的移动，进行环孔径拼接，同时能够用计算机控制第一光学调整架(12)的移动，对第二光学调整架(15)上的待测镜进行扫描式拼接测量；其中：滤波孔(2)放置在激光器(1)的出光口，第一聚光镜(3)放置在滤波孔(2)和空间滤波器(4)中间，滤波孔(2)放置的位置为第一聚光镜(3)物面位置，空间滤波器(4)放置在第一聚光镜(3)像面位置；空间滤波器(4)同时放置在扩束镜(5)的前焦点，λ/2波片(6)、λ/4波片(7)、衰减片(8)依次放置在扩束镜(5)后面，其中滤波孔(2)、第一聚光镜(3)、空间滤波器(4)、扩束镜(5)、λ/2波片(6)、λ/4波片(7)、衰减片(8)的中心都在同一光轴上，λ/2波片(6)、λ/4波片(7)平行于扩束镜(5)；衰减片(8)垂直于光轴，分光镜(9)的中心在光轴上，与光轴成45°角，分光镜(9)后面放置反射镜(10)，反射镜(10)与移相器(11)相连；第一光学调整架(12)平行于光轴，第一光学调整架(12)中心对准分光镜(9)中心；第一光学调整架(12)用于固定第二聚光镜组(13)和小孔基板(14)，同时能够旋转和移动；第二光学调整架(15)放置在小孔基板(14)中小孔产生的衍射波面一侧，上面放置待测镜；第三光学调整架(16)上面放置第三聚光镜组，用于收集干涉光并透射到CCD探测器(17)上；CCD探测器(17)放在第三光学调整架(16)后面；计算机(18)与CCD探测器(17)连接。 |
