发明名称 |
用于控制有机材料的蒸发的方法和设备 |
摘要 |
一种用于控制蒸发的有机材料在基底表面上的沉积的方法,它包括提供具有至少一个缝隙的总管,蒸发的有机材料穿过该缝隙用以沉积在基底表面上;和提供一定体积的有机材料,并将该有机材料的温度维持在第一状态,使得其蒸汽压力低于在基底上有效地形成一层所需要的蒸汽压力,和在第二状态把占该有机材料的初始体积的一定体积百分数的有机材料加热,使得被加热的有机材料的蒸汽压力足以有效地形成一层。 |
申请公布号 |
CN101057349A |
申请公布日期 |
2007.10.17 |
申请号 |
CN200580038386.4 |
申请日期 |
2005.11.09 |
申请人 |
伊斯曼柯达公司 |
发明人 |
M·L·博罗森;M·龙;J·M·格雷西;J·张;B·E·科普;T·W·帕洛恩;N·P·雷登 |
分类号 |
H01L51/56(2006.01);H01L51/40(2006.01);C23C14/12(2006.01);C23C14/24(2006.01);H05B33/10(2006.01) |
主分类号 |
H01L51/56(2006.01) |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
崔幼平;杨松龄 |
主权项 |
1.一种用于控制蒸发的有机材料在基底表面上的沉积的方法,所述方法包括:a)提供具有至少一个缝隙的总管,蒸发的有机材料穿过所述缝隙用以沉积在基底表面上;和b)提供一定体积的有机材料,并将所述有机材料的温度维持在第一状态,使得其蒸汽压力低于在所述基底上有效地形成一层所需要的蒸汽压力,和在第二状态把占所述有机材料的初始体积的一定体积百分数的有机材料加热,使得被加热的有机材料的蒸汽压力足以有效地形成一层。 |
地址 |
美国纽约州 |