貫通孔を有する絶縁基板

摘要

導体用の貫通孔（２）が配列されている絶縁基板（１）を提供する。絶縁基板（１）の厚さが２５〜３００μｍであり、貫通孔（２）の径（Ｗ）が２０μｍ〜１００μｍであり、絶縁基板（１）がアルミナ焼結体からなる。アルミナ焼結体の相対密度が９９．５％以上であり、平均粒径が２〜５０μｍである。