| 发明名称 | 膜厚检测装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种膜厚检测装置。该膜厚检测装置包括：公共电极；检测电极，检测电极的检测表面与公共电极的公共表面按照预设位置设置以形成待测膜在检测时的检测通道；信号处理电路，与检测电极相连接，用于消除检测电极的原始偏差信号。通过本实用新型，达到了提高膜厚检测装置的检测精度的效果。 | ||
| 申请公布号 | CN205748256U | 申请公布日期 | 2016.11.30 |
| 申请号 | CN201620618584.3 | 申请日期 | 2016.06.21 |
| 申请人 | 威海华菱光电股份有限公司 | 发明人 | 姜利 |
| 分类号 | G01B7/06(2006.01)I | 主分类号 | G01B7/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人 | 韩建伟;李志刚 |
| 主权项 | 一种膜厚检测装置，其特征在于，包括：公共电极；检测电极，所述检测电极的检测表面与所述公共电极的公共表面按照预设位置设置以形成待测膜在检测时的检测通道；以及信号处理电路，与所述检测电极相连接，用于消除所述检测电极的原始偏差信号。 | ||
| 地址 | 264209 山东省威海市火炬高技术产业开发区火炬路159号 | ||