用于检查样品的方法

摘要

本发明涉及用于检查样品的方法。本发明描述一种在电子显微镜中检查样品的方法。样品支座500示出连接焊垫505、508与样品要被放置在其上的区域A的电极504、507。在把样品放置在样品支座上后，在样品上沉积导电图案，以便电压和电流可以被施加到样品的局部化的部分。在样品上施加图案可例如用束诱导沉积或喷墨印刷来完成。本发明还教导在样品中建立电子部件，诸如电阻器、电容器、电感器和有源元件诸如FET。

主权项

一种用粒子光学设备检查样品的方法，该设备用粒子束检查样品，该方法包括：●提供配有电极(304，305)的样品支座(300)，●提供样品(308)；●把样品放置在样品支座上，●把样品引入到粒子光学设备中，●在样品中感应电压差或电流，●用粒子束辐射该样品，以及●检测透射经过样品的粒子，其特征在于在把样品放置在样品支座上之后并且在用粒子束辐射样品之前，导电或半导电图案(309，310)被施加到样品，所述图案的至少一部分与样品支座的电极电接触，其中，在感兴趣的区域上或附近在轨迹之间施加电阻材料膜。