| 摘要 |
Спосіб одержання високопровідних тонких плівок на основі йодид-пентатіофосфату міді CuPSI як матеріалу для твердоелектролітичного джерела енергії. Напилення здійснюють одночасно з двох магнетронів, в одному з яких використовують мішень з суперіонного матеріалу CuPSI (пресований порошок), а в іншому мішень з чистої міді. |
