一种位置检测信号的细分装置

摘要

本实用新型公开了一种位置检测信号的细分装置，包括线光源激光器、光靶、CCD、信号处理器和二个光学扫描振镜；二个振镜的转动轴在同一平面内平行放置，其反射面相对放置，法线方向与两光学扫描振镜转动轴所在平面成45°角；线光源激光器的线状出射激光束垂直于两个扫描振镜的旋转轴所在平面，线状激光束射向振镜的反射面且通过其旋转轴线；光靶位于与两振镜的旋转轴线所在平面平行的平面内，CCD位于光靶的另一侧，并与两个振镜的旋转轴所在平面平行；信号处理器与CCD相连，用于获取CCD的信号并进行数据处理。本实用新型结合四倍频细分电路，可以实现对一个周期内的位置检测信号的高倍细分，从而提高位置检测装置的分辨力和测量精度。

主权项

权利要求书1、一种位置检测信号的细分装置，其特征在于：该装置包括线光源激光器(1)、第一光学扫描振镜(2)、光靶(3)、电荷耦合器(4)、信号处理器(5)和第二光学扫描振镜(6)；第一光学扫描振镜(2)的转动轴O1和第二光学扫描振镜(6)的转动轴O2在同一平面内平行放置，第一光学扫描振镜(2)与第二光学扫描振镜(6)的反射面相对放置，且第一光学扫描振镜(2)和第二光学扫描振镜(6)各自初始位置的法线方向平行，法线方向与两光学扫描振镜转动轴所在平面成45°角；线光源激光器(1)的线状出射激光束垂直于两个扫描振镜的旋转轴O1和O2所在平面，线状激光束射向第一光学扫描振镜(2)的反射面且通过其旋转轴线；光靶(3)位于与两振镜的旋转轴线O1和O2所在平面平行的平面内，电荷耦合器(4)位于光靶(3)的另一侧，并与两个振镜的旋转轴O1和O2所在平面平行放置；信号处理器(5)与电荷耦合器(4)相连，用于获取电荷耦合器(4)的信号并进行数据处理。