发明名称 Photoresist copolymer.
摘要
申请公布号 DE69931201(T2) 申请公布日期 2006.08.31
申请号 DE19996031201T 申请日期 1999.05.20
申请人 DAICEL CHEMICAL INDUSTRIES, LTD. 发明人 NAKANO, TATSUYA
分类号 C08F220/18;C07C69/00;C07C69/54;C08F220/30;G03F7/004;G03F7/039 主分类号 C08F220/18
代理机构 代理人
主权项
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