| 摘要 |
Die Erfindung bezieht sich auf eine Kontaminationsanalyseeinheit und ein Verfahren zum Inspizieren einer Kontamination auf einer Targetseite eines Inspektionsobjekts, wie eines gereinigten Retikels, sowie auf ein entsprechendes Retikelreinigungssystem. Die Kontaminationsanalyseeinheit der Erfindung beinhaltet ein Probenmodul (22) zum Absondern einer Probenflüssigkeit, die bereitgestellt wird, indem die Targetseite des Inspektionsobjekts mit einer Lösung in Kontakt gebracht wird, und einen Analysator (24), der konfiguriert ist, Verunreinigungen in der Probenflüssigkeit zu analysieren. Das Probenmodul beinhaltet eine Flüssigkeitswanne (200) mit einem Aufnahmeraum (220), der die Targetseite des Inspektionsobjekts aufnimmt, sowie eine Flüssigkeitszufuhrdüse (520), die so konfiguriert ist, dass die Lösung dem Aufnahmeraum der Flüssigkeitswanne zugeführt wird. Verwendung z. b. zum Behandeln von Retikeln für Photolithographieprozesse, die in der Halbleiterbauelementfertigung angewendet werden.
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