水分バリアを有するエピタキシャルシリコン太陽電池

摘要

薄型エピタキシャルシリコン太陽電池は、裏面にドープ酸化物の１又は複数の層を含む。水分バリアの役割をする窒化ケイ素層は、ドープ酸化物の１又は複数の層上に形成される（２０７）。ドープ酸化物は、エピタキシャルシリコン層中にドープ領域を形成するために、ドーパントを提供する。金属コンタクトは、窒化ケイ素層及びドープ酸化物の１又は複数の層を貫通して（２０８、２０９）、ドープ領域に電気的に結合する。