发明名称 Преобразователь оптических и радиационных излучений и способ его изготовления
摘要 1. Конструкция преобразователя оптических и радиационных излучений, содержащая в полупроводниковой пластине n(p) типа проводимости вертикальные щели или каналы, на поверхности которых расположены вертикальные p-n-переходы, которые заполнены материалом радиоактивного изотопа, отличающаяся тем, что на поверхности горизонтальных p-n-переходов пластины расположен диэлектрический слой, прозрачный для излучения оптического диапазона.2. Способ изготовления конструкции преобразователя оптических и радиационных излучений по п. 1, включающий формирование в объеме пластины n(p) типа проводимости щелей или каналов, диффузионное легирование поверхности каналов примесью p(n) типа, осаждение на поверхность пластины и в каналы материала радиоактивного изотопа, отличающийся тем, что сначала проводится формирование на поверхности пластин n(p) типа p(n) типа горизонтальных p-n-переходов, затем проводится осаждение диэлектрического слоя прозрачного для излучения оптического диапазона, затем формирование в объеме пластины глубоких щелей путем селективного травления полупроводникового материала к диэлектрику, затем проводится диффузионное легирование поверхности каналов примесью p(n) типа, осаждение на поверхность пластины и в каналы материала радиоактивного изотопа и, наконец, удаление материала изотопа с поверхности диэлектрического слоя.
申请公布号 RU2015118010(A) 申请公布日期 2016.12.10
申请号 RU20150118010 申请日期 2015.05.14
申请人 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС" 发明人 Леготин Сергей Александрович;Мурашев Виктор Николаевич;Краснов Андрей Андреевич;Диденко Сергей Иванович;Борзых Ирина Вячеславовна;Рабинович Олег Игоревич;Ельников Дмитрий Сергеевич;Омельченко Юлия Константиновна;Кузьмина Ксения Андреевна;Евтушенко Наталья Ивановна
分类号 H01L31/115;H01L31/18 主分类号 H01L31/115
代理机构 代理人
主权项
地址