发明名称 |
グラフェン堆積用アミン前駆体 |
摘要 |
本発明は、窒素含有量が0〜65質量%のグラフェン膜を基体S1上へ化学蒸着(CVD)によって堆積させるために、下記式Iのアミン前駆体又はそのアンモニウム塩を使用する方法に関する。(X1−R1)n−NH(3−n)(I)式中、R1は、(a)すべて、任意に、O、NH及びNR2のうちの少なくとも1つによって中断されていてもよい、C1〜C10アルカンジイル、(b)すべて、任意に、O、NH及びNR2の少なくとも1つによって中断されていてもよいアルケンジイル、(c)すべて、任意に、O、NH及びNR2の少なくとも1つによって中断されていてもよいアルキンジイル、(d)C6〜C20芳香族2価部分、及び(e)CO及びCH2COから選択され、X1は、H、OH、OR2、NH2、NHR2、又はNR22から選択され、ここで、2つの基X1は一緒になって、化学結合、O、NH、又はNR2から選択される2価の基X2を形成してもよい、R2は、任意に1つ以上の置換基X1で置換されてもよい、C1〜C10アルキル及びC6〜C20芳香族部分から選択され、nは、1、2、又は3である。 |
申请公布号 |
JP2016535816(A) |
申请公布日期 |
2016.11.17 |
申请号 |
JP20160519925 |
申请日期 |
2014.09.29 |
申请人 |
ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピアBASF SE;マクス−プランク−ゲゼルシャフト、ツール、フェルデルング、デァ、ヴィセンシャフテン、イー、ファウ |
发明人 |
シュヴァブ,マティアス ゲオルグ;ミューレン,クラウス;ザハデフ,ヘルマン;イトウ,ヨシカズ |
分类号 |
C23C16/26;B32B9/00;C01B31/02 |
主分类号 |
C23C16/26 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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