具有Z向运动和铰接臂的线性运动真空机械手

摘要

本发明描述了一种用于搬运和加工包括晶圆在内的基板的设备和方法，以便与当前所使用的系统相比，能够有效地以合理成本实现改进的产量。线性搬运腔室包括线性轨道和机械手臂，该机械手臂骑跨在线性轨道上，以沿着加工腔室的侧面线性传送基板，用于通过装载室将基板输送到受控大气中并接着沿着搬运腔室以便到达加工腔室。本发明还公开了四轴机械手臂，其能够进行线性移动、旋转和铰接、以及z向运动。

主权项

一种铰接臂机械手系统，包括：底部，其配置成自由骑跨在一线性轨道上；线性电机，其向底部施加线性运动；联接到底部的第一臂区段；第二臂区段，其旋转地联接到第一臂区段；第三臂区段，其旋转地联接到第二臂区段；第一磁性耦合从动件组件，其配置成磁性地随从第一电机的旋转，以藉此旋转第二臂区段；和第二磁性耦合从动件组件，其配置成磁性地随从第二电机的旋转，以藉此旋转第三臂区段；在第一磁性耦合从动件组件和第一电机之间的磁性耦合器及在第二磁性耦合从动件组件和第二电机之间的磁性耦合器当中的一个或多个磁性耦合器将底部连接到线性电机，并且使底部沿所述线性轨道进行线性运动。