用于激光器放电腔的电磁力密封窗装置

摘要

本发明公开了一种用于激光器放电腔的电磁力密封窗装置，其具有出光窗片，所述激光器放电腔产生的激光经由该出光窗片向外界出射，其特征在于，所述电磁力密封窗装置由腔体密封端(201)、电磁密封段(202)和窗片密封端(203)构成，所述腔体密封端(201)、电磁密封段(202)和窗片密封端(203)依次连接而构成一个筒体，所述电磁密封段(202)用于通过电磁力来控制其本身的隔断与连通。本发明在拆换出光窗片时可以保证有毒的工作气体不会泄漏，同时保证不会有空气进入钝化好的放电腔内，从而提高工作效率，节约气体成本。

主权项

一种用于激光器放电腔的电磁力密封窗装置，具有出光窗片，所述激光器放电腔产生的激光经由该出光窗片向外界出射，其特征在于，所述电磁力密封窗装置由腔体密封端(201)、电磁密封段(202)和窗片密封端(203)构成，所述腔体密封端(201)、电磁密封段(202)和窗片密封端(203)依次连接而构成一个筒体，所述电磁密封段(202)用于通过电磁力来控制其本身的隔断与连通，其中，所述电磁密封段(202)包括密封动作板(8)、第一电磁铁(11)及第二电磁铁(12)，所述第一电磁铁(11)、第二电磁铁(12)均能通过施加电流来产生吸引力或者排斥力，并通过调节电流大小来调节产生力的大小，所述密封动作板(8)是一个安装有永磁体(10)且可以活动的密封板，其可以通过所述电磁铁(11、12)与所述永磁体(10)的相互作用而在一隔断状态和一连通状态之间切换；所述电磁力密封窗装置还包括一个壳体(1)，所述壳体(1)作为所述腔体密封端(201)和电磁密封段(202)的外壳，其一端连接所述激光器放电腔，另一端连接所述窗片密封端(203)；在所述壳体(1)的内侧设有一个水平转轴(13)，所述密封动作板(8)可以绕该转轴(13)转动，从而使所述电磁密封段(202)在所述隔断状态和连通状态之间切换。