发明名称 Plasmazelle mit freiem Flansch
摘要 Eine Plasmazelle zur Erzeugung lichtgestützten Plasmas beinhaltet ein Transmissionselement, das dazu ausgebildet ist, ein Gasvolumen einzuschließen, einen ersten Endflansch, der an oder nahe einer Öffnung des Transmissionselements angeordnet ist, einen zweiten Endflansch, der an oder nahe einer anderen Öffnung des Transmissionselements angeordnet ist, einen freien Flansch, der zwischen dem ersten oder dem zweiten Endflansch und dem Transmissionselement angeordnet ist. Der freie Flansch ist beweglich, um eine thermische Ausdehnung des Transmissionselements auszugleichen. Ferner ist der freie Flansch dazu ausgebildet, das innere Volumen des Transmissionselements einzuschließen, um ein Gasvolumen innerhalb des Transmissionselements einzuschließen. Das Transmissionselement ist dazu ausgebildet, Beleuchtung von einer Beleuchtungsquelle zu empfangen, um Plasma innerhalb des Gasvolumens zu erzeugen. Das Transmissionselement ist transparent für einen Teil der Beleuchtung von der Beleuchtungsquelle und einen Teil der vom Plasma emittierten Breitbandstrahlung.
申请公布号 DE112014005636(T5) 申请公布日期 2016.09.01
申请号 DE20141105636T 申请日期 2014.12.12
申请人 KLA-Tencor Corp. 发明人 Bezel, Ilya V.;Shchemelinin, Anatoly;Torkaman, Amir
分类号 H05H1/24;H05H1/48 主分类号 H05H1/24
代理机构 代理人
主权项
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