一种硅片清洗后跨区域传递窗

摘要

一种硅片清洗后跨区域传递窗，包括沟通两个区域的传递通道和设置在传递通道两侧的带电磁互锁窗门，传递通道内设置有水槽、向水槽内注入纯水的进水管和排出水槽内纯水的排水管，水槽的底部设置有若干排水槽底座。本实用新型通过在传递通道底部设置水槽，并在水槽内安装进水管和排水管，保证水槽内一直有新鲜纯水流动，保证水槽洁净度，在水槽底部设置带有台阶的水槽底座，通过相邻两个水槽底座上的台阶将不同尺寸的硅片片盒固定，具有结构简单，操作方便，安全性能好，可以减少清洗后带水硅片在传递过程中沾污的风险，并能降低物料流通时对环境的影响，使生产能更顺利进行的优点。

主权项

一种硅片清洗后跨区域传递窗，包括沟通两个区域的传递通道（1）和设置在传递通道（1）两侧的带电磁互锁窗门（2），以限定两个窗门（2）只能单独打开，其特征在于：所述传递通道（1）内设置有水槽（3）、向水槽（3）内注入纯水的进水管（4）和排出水槽（3）内纯水的排水管（5），水槽（3）的底部设置有若干排水槽底座（6），相邻两排水槽底座（6）之间具有间隙，且这两排水槽底座（6）相对的侧面上具有三个台阶，以使这三个台阶上分别卡设6英寸、5英寸和4英寸的硅片片盒。