| 摘要 |
ダイアフラムの圧力検出面側に第１の空間を有し、第１の空間に対面する圧力検出面を用いて圧力の検出を行うダイアフラムを有し、検出した圧力に対応する電気信号を出力するＭＥＭＳ圧力センサと、ＭＥＭＳ圧力センサを支持して被測定部に接触して載置される第１のフィルムシートであって、第１の空間に連通しかつ第１の空間よりも大きな、圧力検出面に平行な方向のサイズを有する第２の空間を有する第１のフィルムシートとを備えるＭＥＭＳ圧力センサ装置であって、圧力検出面に平行な方向のサイズを有する第３の空間を有する第２のフィルムシートであって、ＭＥＭＳ圧力センサ装置を被測定部に載置する前に、被測定部の部位が第３の空間に位置するように載置するための第２のフィルムシートをさらに備える。 |
