液晶显示装置的像素电极的制造方法

摘要

本发明在制作像素电极的制程中，于沉积半导体层的步骤时，就在其一局部区域产生一接触洞，以于焊垫上方附近区域形成一具有接触洞的半导体层，并且在此接触洞处形成保护层与透光绝缘层。本发明是利用透光绝缘层来取代一部份原先使用的半导体层，由于透光绝缘层在蚀刻后其侧壁会形成较平缓的斜面，可使得后续沉积的像素电极，能完全覆盖住坡度平缓的斜面而不会造成断线。如此，像素电极便可顺利连接焊垫与测试电路，而不会产生断线的问题。

主权项

1.一种制造液晶显示装置的像素电极的方法，其特征在于，包含：形成一薄膜晶体管及与该薄膜晶体管连接的一焊垫在一基板上，该焊垫上方依次覆盖有一绝缘层与一通道层，并同时在该焊垫上方的该通道层形成一接触洞；形成一保护层覆盖住该薄膜晶体管，及该接触洞；形成一透光绝缘层于该保护层上，并覆盖该接触洞；移除该接触洞上的该透光绝缘层与该保护层，以及底下的该绝缘层，以露出该焊垫，并且使该接触洞的侧壁大体呈一斜面；及形成一透明导电层于该焊垫上，其中该透明导电层覆盖住该接触洞的侧壁。