等离子体检测装置及具有该装置的激光加工机

摘要

本发明提供一种等离子体检测装置及具有该装置的激光加工机。通过电压变动时间累计部将传感器电极的电压发生变动的电压变动时间作为电压变动累计时间进行累计，通过电压变动发生率计算部根据所累计出的电压变动累计时间来计算单位时间的电压变动发生率。由此，可以将等离子体的产生量作为上述电压变动发生率来获知，等离子体检测判定部可根据所计算的电压变动发生率、容易地检测出大量产生的等离子体。因此，没必要如现有技术中设置测定传感器电极和工件之间的电阻的电路，可以防止等离子体检测装置的结构的复杂化。

主权项

1.一种激光加工机的等离子体检测装置，其可检测通过从激光加工机的激光照射部照射的激光而从工件产生的等离子体，其中，该激光加工机设置有：向工件照射激光的激光照射部，该激光照射部具有与所述工件对向的传感器电极；检测该传感器电极的电压的传感器电极电压检测部；根据该传感器电极电压检测部检测出的传感器电极的电压来控制所述激光照射部和所述工件之间的间隙长度的间隙长度控制部，其特征在于，设置有电压变动区间检测部，该检测部检测所述检测出的传感器电极的电压发生变动的电压变动区间，设置有将与所述电压变动区间检测部所检测出的电压变动区间对应的电压变动时间作为电压变动累计时间进行累计的电压变动时间累计部，设置有根据由所述电压变动时间累计部所累计出的电压变动累计时间、来计算单位时间的电压变动发生率的电压变动发生率计算部，和设置有根据由所述电压变动发生率计算部所计算的电压变动发生率、来判定是否检测出了所述等离子体、并输出其判定结果的等离子体检测判定部。