Method of generating large area and high density plasma

摘要

본 발명은 대면적 플라즈마 발생에 있어서 매우 넓고 두꺼운 유전체 윈도우의 사용을 회피하고 균일한 대면적 플라즈마를 얻는 방법을 제공하기 위한 것으로서, (a) 챔버의 상부로부터 전력이 투입되어 플라즈마를 발생시킴에 있어서 분리되어 있는 2개 이상의 유전체를 사용하는 단계와, (b) 상기 분리된 유전체를 통해 라디오 주파수의 전력과 초고주파 전력을 공간적으로 분리하여 전력을 투입하는 단계를 포함하여 이루어지는데 있다.