多孔性のシリコン層を連続的に製造する装置および方法

摘要

本発明は、シリコンから作られたワークピース又はシリコンコーティングを有するワークピースに多孔性のシリコン層（一層又は多層）を連続的に製造する装置および方法に関する。これにより、本発明に係る方法は、一側エッチング方法に基づいており、ワークピースが搬送装置によって水平に案内され、ワークピースの前側が、電解液とカソードとを備える少なくとも一つのエッチング室を通してエッチングされる。この方法は、特に、ＰＶセルの製造に用いることができる。