通过反应性阴极电弧蒸发合成金属氧化物

摘要

本申请涉及复合Al‑Cr靶的反应性阴极电弧蒸发和合成的Al‑Cr‑O层的成核和相形成。氧分压和电弧电流的脉冲操作影响靶表面处金属间化合物相和固溶体的形成。所述三元氧化物在基材位置的成核显得在某种程度上可通过靶表面处形成的金属间化合物或固溶体来控制。由此可以通过自由选择靶组成并结合氧反应性气体的分压来诱发基材位置上的具体成核过程。其还使得可以控制在更高氧分压下偶尔出现的靶表面处的氧化物岛生长。这得到了所述层以及靶表面的X射线衍射分析的支持。

主权项

用于通过反应性阴极电弧蒸发在基材上合成层的方法，包括在电弧操作期间将复合靶表面暴露于氧反应性气体的步骤，特征在于在操作期间不仅在调整期间而且在反应性气体流变化期间都在靶表面处观察到非稳态，直至达到完全"氧化的"靶状态，其中使用Al‑Cr靶，其具有70at％Al和30at％Cr的靶组成。