主权项 |
一种二自由度微定位平台,其特征在于:包括运动平台(1)、基座(2)、弧形导向机构Ⅰ(3)、弧形导向机构Ⅱ(4)、弧形导向机构Ⅲ(5)、弧形导向机构Ⅳ(6)、固定螺栓孔Ⅰ(7)、固定螺栓孔Ⅱ(8)、固定螺栓孔Ⅲ(9)、固定螺栓孔Ⅳ(10)、杠杆固定螺栓孔Ⅰ(11)、杠杆固定螺栓孔Ⅱ(12)、Y方向杠杆Ⅰ(13)、X方向压电陶瓷驱动器安放矩形槽(14)、Y方向柔性铰链Ⅰ(15)、Y方向压电陶瓷驱动器安放矩形槽(16)、Y方向柔性铰链Ⅱ(17)、Y方向柔性铰链Ⅲ(18)、X方向柔性铰链Ⅰ(19)、X方向柔性铰链Ⅱ(20)、X方向柔性铰链Ⅲ(21)、X方向杠杆Ⅰ(22)、Y方向杠杆Ⅱ(23)、Y方向杠杆Ⅲ(24)、Y方向杠杆Ⅳ(25)、X方向杠杆Ⅱ(26)、X方向杠杆Ⅲ(27)、X方向杠杆Ⅳ(28)、Y方向柔性铰链Ⅳ(29)、X方向柔性铰链Ⅳ(30);所述运动平台(1)通过弧形导向机构Ⅰ(3)、弧形导向机构Ⅱ(4)、弧形导向机构Ⅲ(5)、弧形导向机构Ⅳ(6)与基座(2)相连;固定螺栓孔Ⅰ(7)、固定螺栓孔Ⅱ(8)、固定螺栓孔Ⅲ(9)、固定螺栓孔Ⅳ(10)分别位于基座(2)的四个角上,起固定基座(2)的作用;X方向压电陶瓷驱动器安放矩形槽(14)、Y方向压电陶瓷驱动器安放矩形槽(16)位于基座(2)上,Y方向压电陶瓷驱动器放于Y方向压电陶瓷驱动器安放矩形槽(16)内并通过预紧螺母使压电陶瓷一端紧靠在Y方向杠杆Ⅰ(13)上,X方向的压电陶瓷驱动器放于X方向压电陶瓷驱动器安放矩形槽(14)内并通过预紧螺母使压电陶瓷一端紧靠在X方向杠杆Ⅳ(28)上;所述X方向杠杆Ⅳ(28)通过X方向柔性铰链Ⅲ(21)与X方向杠杆Ⅲ(27)相连,同时,X方向杠杆Ⅲ(27)通过X方向柔性铰链Ⅱ(20)与X方向杠杆Ⅱ(26)相连,X方向杠杆Ⅱ(26)通过X方向柔性铰链Ⅰ(19)与运动平台(1)相连,X方向杠杆Ⅲ(27)还通过X方向柔性铰链Ⅳ(30)与X方向杠杆Ⅰ(22)相连,杠杆固定螺栓孔Ⅱ(12)在X方向杠杆Ⅰ(22)上起固定X方向杠杆Ⅰ(22)的作用;所述Y方向杠杆Ⅰ(13)通过Y方向柔性铰链Ⅲ(18)与Y方向杠杆Ⅲ(24)相连,同时,Y方向杠杆Ⅲ(24)通过Y方向柔性铰链Ⅳ(29)与Y方向杠杆Ⅱ(23)相连,Y方向杠杆Ⅱ(23)通过Y方向柔性铰链Ⅰ(15)与运动平台(1)相连,Y方向杠杆Ⅲ(24)还通过Y方向柔性铰链Ⅱ(17)与Y方向杠杆Ⅳ(25)相连,杠杆固定螺栓孔Ⅰ(11)在Y方向杠杆Ⅳ(25)上起固定Y方向杠杆Ⅳ(25)的作用。 |