| 发明名称 | 悬臂石英桨的制作方法及产品 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种悬臂石英桨的制作方法，将溶凝石英管进行二次成型，堆厚处理，并进行两种退火处理，制成悬臂部分(1)；将溶凝石英管和溶凝石英板悬进行切割、烧结，烧结完成后进行打磨、抛光，最后采用两种退火处理，制成承载部分(2)；将悬臂部分(1)与承载部分(2)进行连接，并进行常规的退火处理。本发明增加了悬臂石英桨的悬臂部分的厚度，退火采用两种退火方式，消除了常规退火无法解决的应力问题，保证芯片与炉管的同心度，使其能承载较多的石英舟，悬臂石英桨不与炉管直接接触，延长了炉管的使用寿命，因为采用熔凝石英，悬臂石英桨容易清洗，并且不易断裂，即使断裂也可以进行修补，节约了成本。 | ||
| 申请公布号 | CN101353222A | 申请公布日期 | 2009.01.28 |
| 申请号 | CN200710201177.8 | 申请日期 | 2007.07.26 |
| 申请人 | 张彩根 | 发明人 | 张彩根 |
| 分类号 | C03B20/00(2006.01);H01L21/00(2006.01);H01L21/02(2006.01);H01L21/683(2006.01) | 主分类号 | C03B20/00(2006.01) |
| 代理机构 | 贵阳中新专利商标事务所 | 代理人 | 李大刚 |
| 主权项 | 1.悬臂石英桨的制作方法，其特征在于：将溶凝石英管进行二次成型，堆厚处理，并进行两种退火处理，制成悬臂部分(1)；将溶凝石英管和溶凝石英板悬进行切割、烧结，烧结后采用两种退火处理，退火后进行打磨、抛光，制成承载部分(2)；将悬臂部分(1)与承载部分(2)进行连接，并进行常规的退火处理。 | ||
| 地址 | 313009浙江省湖州市南浔经济开发区年丰路西侧 | ||